报告题目:先进光刻工艺Track设备中的传热传质问题
报告人:陈兴隆博士
报告人单位:沈阳芯源微电子设备有限公司
报告时间:2018年11月29日周四15:00-17:00
报告地点:李兆基科技大楼B-518会议室
邀请人:徐海涛教授
地址: 北京市海淀区清华大学李兆基科技大楼B511室, 邮编 100084电话: (010) 627-98267
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